如何检验碳化硅辊棒的质量
(1)碳化硅辊棒尺寸偏差的测量瓷辊圆度、锥度、外径尺寸偏差的测量:在距瓷辊两端100mm处,分别用分度值为0.02mm的游标卡尺测量瓷辊的最大外径及同截面上与之垂直方向上的外径,精确至0.02mm,取同一截面的两个测量值之差作为圆度值,以最大值作为测量结果;以两端的外径平均值之差 作为锥度;以所测四次外径的测量值与公称外径之差作为外径尺寸偏差,以最大值和最小值作为测量结果。
(2) 碳化硅辊棒直线度的测量标准棒的选定 根据需要选定不同规格的瓷辊标准棒,碳化硅辊棒生产厂家采用直径与被选瓷辊相接近的金属标准棒(直线度等级不低于9级,长度大于被选瓷辊)平放于工作台上,使被选瓷辊紧贴金属棒,转动被选瓷辊360°,用塞尺测两者的最大间隙,小于0.2mm的才能用作标准棒。测量根据被测产品的规格,选用与其直径相接近的瓷辊标准棒,把瓷辊标准棒平放于工作台,使样品紧贴瓷辊标准棒,转动样品360°,用塞尺测量两者之间的最大间隙,即为直线度公差,以管长的百分数表示。
(3) 碳化硅辊棒厂家急冷急热性试验截取约650mm长的瓷辊,烘干后冷却,迅速插入规定温度的电炉中,插入深度约为400mm;将瓷辊两端支起,且沿长度方向温差不大于±5℃,保温10min后迅速取出,平放在耐火材料支架上,在空气中冷却至室温,检验有无裂纹及断裂。
